芯片失效分析赵工 半导体工程师 2022-07-07 08:55 发表于北京
据晶瑞电材消息，7月5日，苏州瑞红KrF光刻机及配套设备顺利搬入实验室。
本次光刻机的顺利搬入将为公司KrF光刻胶的产品开发及生产品质管控提供强有力的保障，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，对于提高公司可持续发展能力具有重大意义。
据悉，苏州瑞红电子化学品有限公司（以下简称：苏州瑞红）为晶瑞电材控股子公司。5月5日，晶瑞电材在接受机构调研时表示，公司子公司苏州瑞红拥有负型光刻胶系列、g线系列、i线光刻胶系列、KrF光刻胶系列等数十个型号产品，ArF光刻胶的研发工作有序开展中。其中KrF光刻胶产品已通过部分重要客户测试，KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中，计划2022年形成批量供货。同时为加快KrF光刻胶的量产，公司新购入了尼康KrF S207光刻机及配套设备。
来源：半导体技术天地
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