IT之家3月29日消息据中欣晶圆发布，Ferrotec（中国）旗下安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司投资建设年产240万枚半导体晶圆再生项目，项目计划总投资10亿元，占地75亩，新建厂房56774。38平方米。 据悉，该项目购置国内外先进设备数百台套（关键工序采用进口设备及专用设备），建设周期15个月，项目建成后将形成年产240万枚300mm半导体晶圆精密再生的生产线，可达世界先进水平。 IT之家获悉，官方介绍，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司由日本FerroTec株式会社（日本磁性流体技术控股有限公司）在中国的全资子公司上海申和热磁电子有限公司于2019年在铜陵发起创立。日本FerroTec株式会社（日本磁性流体技术控股有限公司）于1992年正式进军中国市场。FerroTec（中国）现已成长为集产品研发、制造、销售于一体的多元化企业集团。旗下管理的20余家公司与制造基地遍布中国各地，为国内外客户提供具有世界先进水平的材料、器件、装备和系统解决方案。 项目具有国内配备最完善的再生晶圆生产线，也是国内首家专业从事300mm大尺寸硅片晶圆再生的专业厂商，填补国内该领域空白。本项目的建设，将促使国内晶圆厂摆脱长期主要依赖进口的窘境，使其在国内即可实现高水平的大尺寸晶圆再生。 采用国际一流的300mm晶圆用全自动精密CMP研磨机，研磨加工实现全程自动化，厚度损失少；设备内部利用HEPA（HighEfficiencyParticulateAir）过滤装置，保持高洁净度；另外量测设备采用美国KLATencorSP5颗粒检测仪，具有DUV灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检测系统，加工与量测设备均处于国际行业领先水平。 项目建设过程中，依托FerroTec（中国）成熟的半导体晶圆技术人才团队为基础，外籍专家团队直接参与设备采购、安装与调试，国内外知名厂商参与设备搬运与二次配工程，每一环节均有高品质掌控。
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