已交付！我国东方晶圆突破8英寸量测设备，ASML可能侵权

　　一款手机的问世必然离不开大量芯片，而制造这些芯片的前提，就需要有一台光刻机，即便是三星、台积电等芯企想要提高芯片的制程也离不开光刻机，但目前能制造光刻机的厂商仅有ASML一家。
　　在面临全球缺芯的环境下，ASML本该有着广阔的市场，但没想到的是，由于美不断修改芯片规则，这也导致ASML无法向中国市场自由出货，同时ASML也面临了巨大的压力。对于ASML而言，他们面临的压力不仅是损失了中国市场，而是担心有潜力的中企研发出新技术从而代替ASML。
　　自我国中科院等企业宣布已在自研光刻机核心技术时，ASML它慌了！因此，ASML对美表示，如果不把光刻机卖给中国，他们在未来就会掌握光刻机的核心技术，届时，我们也将彻底损失中国市场。随着时间的推移和技术的攻克，我国在光刻机领域的突破也迎来好消息。
　　虽然一台EUV光刻机非常重要，但其电子测量检测系统也是必不可少的一环，它的作用自然也是为了提升芯片良率，就在这个领域，我国东方晶源迎来突破，信息显示，自东方晶源在2021年6月成功研发出12英寸的CDSEM缺陷检测设备后，短短9个月时间，东方晶源如今再次取得突破，并成功研发出首台8英寸CDSEM设备，目前东方晶源已对燕东微电、中芯国际等中企完成交付。
　　东方晶源完成交付后，ASML或许是担心自己地位受到威胁，ASML在毫无根据的情况下对东方晶源进行了职责，并称东方晶源侵犯了ASML的专利技术，同时要求终止与东方晶源的合作。面对ASML这种行为，东方晶源自然也不会低头，东方晶源表示，我们所有的技术都来源于自主研发，对于不实消息和造谣行为，将追究其法律责任！
　　此外，东方晶源已和国内多个晶圆代工企业建立了合作关系，同时，东方晶源也得到了行业的认可。在未来，东方晶源也将不断加大技术研发，并继续扩大国内电子束检测等技术设备，共同推动我国半导体产业发展。
　　就在今年5月，上海积塔半导体公司采购了33台关于半导体制造的设备，其中包含了iline光刻机、铝蚀刻机、Krf光刻机等，要注意的是，本次采购的设备大部分都来自于国产设备，这也意味这我们正在加速脱离ASML的限制，一旦上海微电子成功研发出29纳米制成的DUV光刻机后，自然也会逐渐将ASML取而代之。
　　不止东方晶源取得了突破！在5月6日，上海光机所在防疫期间攻克了多项关于光刻机的核心技术。
　　虽然我们在半导体领域起步较晚，导致我们在光刻机和芯片领域现在都依靠外企，但我们也已经开始加快自主研发的脚步，正如倪光南院士所言，核心技术是买不来，换不来的，想要真正的拥有核心技术，也只能靠自主研发去实现。